EUV光源的技術(shù)(shù)基本只掌握在花旗國 Cymer公司手中，星光科技公司作為一家華夏公司，基本上不可能與対方達(dá)(dá)成技術(shù)(shù)合作，因?yàn)榛ㄆ靽?，就不?huì)同意。

　　EUV光刻機(jī)(jī)——頂級(jí)科學(xué)(xué)與頂級(jí)制造的結(jié)(jié)合。

　　EUV波長只有13.5nm，穿透物體時(shí)(shí)散射吸收強(qiáng)(qiáng)度較大，這使得光刻機(jī)(jī)的光源功率要求極高，此外機(jī)(jī)器內(nèi)(nèi)部需是真空環(huán)(huán)境，避免空氣對(duì)EUV的吸收，透鏡和反射鏡系統(tǒng)(tǒng)也極致精密，配套的抗蝕劑和防...